برای فرایند سخت یا HA[44]، ثابت تناسب nmv-10/2-5/1= ζ بوده و کمتر از حالت MA میباشد .
برای جلوگیری از صرف زمان طولانی برای آندایز آلومینیوم، ابتدا فیلم را تحت شرایط نرم بمدت چند دقیقه آندایز می کنند، سپس آندایز سخت انجام گرفته و سلولها بر روی بستر منظم شکل گرفته از حالت نرم، رشد مییابند. این کار برای جلوگیری از اعمال جریان زیاد در ابتدای امر به سطح نمونه و شکست فیلم اکسیدی در مرحله سخت میباشد، بطوریکه بعد از جوانه زنی حفرهها جریان به تدریج و با نرخ افزایش مشخص برای حالات مختلف بالا خواهد رفت. این پیش آندایز در چگالی جریان ثابت یا پتانسیل ثابت برای چند دقیقه انجام میگیرد. همچنین برای جلوگیری از سوختن نمونه در طول آندایز سخت باید از اعمال گرمای بیش از حد به نمونه پرهیز کرد که برای این کار از خنک کننده استفاده میکنیم.
۴-۵-۴- آندایز پالسی آلومینیوم
در این دیدگاه مزایای فرایندهای سخت و نرم را با هم ترکیب می کنند. در این روش با طراحی پالس متوالی، کنترل هر دو ترکیب امکان پذیر میباشد. این روش برای لایهلایه شدن یک فیلم آلومینیوم به تودهای از صفحات پوستهی آلومینیوم متخلخل با نانوساختار سه بعدی استفاده می شود.
در این روش آندایز با پالسهای پتانسیلی ثابت، شامل پالس MA و HA دنبال می شود. شکل (۴-۴ الف) یک حالت جریان-زمان ناپایدار و کوتاه برای آندایز پالسی را نشان میدهد که در (الف) پالس MA (, UMA=25v دوره پالس MA=180s ז) با یک پالس HA (UHA=35v , HA=0.1sז) دنبال شده است. شکل (۴-۴ ب، پ، ت ) نیز تصاویر SEM از AAO تشکیل شده با آندایز پالسی را نشان میدهد.
از ویژگیهای جذاب AAO حاصل، نوسان در قطر حفره در طول محور آن است (شکل (۴-۴ ث)) که میتوانیم حتی ورقههای MA-AAO را در حالت دو درجه آزادی لایهلایه کنیم، که با حرکت دادن انتخابی قطعات HA-AAO مانند شکل (۴-۴ ج) که راهی آسان و اقتصادی برای تولید انبوه صفحات نانومتخلخل AAO است، انجام میگیرد.
شکل (۴-۴) (الف) طرح پالس استفاده شده در آندایز پالسی با پتانسیلهای UMA دنبال شده با UHA در مدت زمانهایMA ז و HAז (ب) تصویر SEM از AAO بدست آمده از این آندایز پالسی (پ) تصویر SEM از سطح مقطع AAO (ت) تصویر بزرگ شده سطح مشخص شده در شکل (پ)، (ث) نمایشی از قطر حفرههای تشکیل شده با آندایز پالسی (ج) تصویر SEM از صفحات MA-AAO انباشته بر هم. این صفحات با خارج کردن انتخابی بخشهای HA-AAO با بهره گرفتن از H3PO4 ۵% وزنی در c450 بدست میآیند.
۴-۶- مکانیسم رشد فیلم متخلخل در حضور میدان
میدانیم که ساختار فیلم آلومینای آندیک، از حالت لایهی مانع تشکیل یافته بر سطح آلومینیوم در ابتدای آندایز شروع و گسترش مییابد. رشد فیلم مانع بعلت هدایت یونی میدان قوی در حضور میدان ثابت ناشی از پتانسیل افت کرده بخاطر عبور از ضخامت عرضی فیلم مانع میباشد .
فیلم مانع بصورت یکنواخت با یک توزیع جریان یکنواخت کنترل شده با میدان ثابت مانند شکل (۴-۵) روی همه جای سطح گسترش مییابد. رشد یکنواخت، نوعی هموارسازی سطح ناصاف اولیه آلومینیوم را نتیجه میدهد.
اما تغییراتی موضعی در قدرت میدان می تواند روی سطح بعلت وجود نقصها یا ترکها، ناخالصیها یا ویژگیهای از قبل موجود شامل ریزمرزدانهها[۴۵]، برآمدگیها و گلوگاهها[۴۶] بعنوان باقیماندهی فرایندهای پیش از آندایز (پولیش مکانیکی یا الکتروشیمیایی و سونش کردن)
ظاهر شود. این توزیع غیر یکنواخت جریان، منجر به افزایش تجزیهی میدانی اکسید و ضخیم شدن موضعی فیلم (شکل۴-۵ ب) می شود.
جریان بیشتر در بالای برآمدگیهای فلز با یک گرمای ژول موضعی همراه است، که نتیجه آن لایهی اکسیدی ضخیمتر میباشد .
این گرمای موضعی در پایه حفره سبب افزایش انحلال میدانی اکسید و در نتیجه سبب افزایش چگالی جریان موضعی در این ناحیه می شود و این روند افزایش جریان و در نتیجه انحلال در قسمت زیرین حفرهها ادامه مییابد. لایهی اکسیدی رشد یافته بالای برآمدگیها (مکان عیوب یا ناخالصیها و ترکها) مستعد تولید یک فشار موضعی بالا و درنتیجه ترکدار شدن فیلم و التیام سریع آن در چگالی جریان موضعی بالا است (شکل ۴-۵ پ و ت).
بنابراین با مصرف آلومینیوم پایه و افزایش ارتفاع دیواره های اکسیدی ساخته شده بالای مکانهای معیوب، رویدادهای ترک-التیام زیاد تکرار میشوند، که این سبب ریزش بخشی از دیواره جهت تشکیل انحنای گودال شکل شده و انحنای فیلم در سطح میانجی اکسید/فلز تا مقدار لازم افزایش مییابد (شکل ۴-۵ ج). شیمیزو[۴۷] نیز یک فشار انبساطزا در سطح برآمدگیها پیشنهاد کرد که منجر به تشکیل شکافهایی می شود که میتوانند بعنوان
مسیرهای رسانا برای رشد فیلم و اثر التیام سریع عمل کنند.
رشد ترجیحی اکسید بالای مکانهای معیوب و ضخیم شدن لایهی سدی بطور پیوسته تا زمانیکه جریان در ناحیهی نازکتر فیلم در انتهای حفرهی آینده متمرکز شود، پیش میرود. به عبارت دیگر افزایش انحنای حفره (افزایش قطر حفره) چگالی جریان موثر در عرض لایهی سدی را کاهش میدهد. به عنوان یک نتیجه به منظور حفظ یک میدان یکنواخت، رشد حفرههای دیگر از حفرههای اولیه شروع می شود. وقتی انحناهای فیلم اکسیدی در سطح میانجی اکسید/فلز به اندازه کافی افزایش مییابد و اشتراک (تقاطع) مناطق حلزونی رخ میدهد، شرایط حالت پایدار رشد حفره فرا میرسد. برای رشد اکسید متخلخل، در حالت پایدار یک تعادل دینامیکی بین رشد اکسید در سطح میانجی اکسید/فلز و انحلال اکسید در سطح میانجی اکسید/الکترولیت بوجود می آید .
شکل (۴-۵) نمودار الگووار توزیع جریان در شروع و گسترش رشد حفرهها بر آلومینای آندایزی
۴-۷- رشد حالت پایدار آلومینای متخلخل
سهم اصلی جریان آندی شامل واکنش زیر می شود:
(۴-۷)
رشد اکسید برای الکترولیتهای اسیدی رایج شامل فسفریک، سولفوریک و اکسالیک اسید بطور عمده در سطح برهمکنش فلز/اکسید رخ میدهد. رشد آلومینای متخلخل شامل انتقال درونی یونهای شامل اکسیژن (O2- و OH-) در عرض لایهی سدی از الکترولیت به سطح فلز و بطور همزمان خروج یونهای Al3+ از لایهی اکسیدی به الکترولیت میباشد.
فهمیده شده است که تنها بخشی از جریان یونهای Al3+ در تشکیل اکسید در سطح میانجی فلز/اکسید و اکسید/الکترولیت شرکت می کنند. بسته به شرایط آندایز و بخصوص بازده جریان اکسید، تشکیل اکسید همچنین می تواند در سطح میانجی اکسید/الکترولیت پیش رود.
بعنوان مثال برای یک بازده جریان نزدیک به %۱۰۰ و برای الکترولیتهای فسفات و کرومات، اکثریت یونهای Al3+ که به سطح اکسید/الکترولیت میرسند در تشکیل اکسید در این سطح درگیر میشوند .
این رفتار با تعداد حاملهای شامل یونهای Al3+ و O2-/OH-مشاهده شده برای الکترولیتها و شرایط آندایزی مختلف ثابت میماند.
برعکس برای آندایز در اکسالیک اسید با بازده جریان پایین، شاهدی برای تشکیل اکسید در سطح اکسید/الکترولیت نیست .
جریان یونهای Al3+ باقیماندهای که به سطح اکسید/الکترولیت رسیده اند با انحلال میدان کمکی ، یا با مکانیسم پسزنی مستقیم یونهای Al3+ در محلول ، در الکترولیت گم میشوند.
یک نمایش شماتیک از فرایند اصلی درگیر در رشد آلومینای متخلخل در شکل (۴-۶) نشان داده شده است.
بعلاوه آنیونهای الکترولیت درون لایهی سدی حرکت می کنند و میتوانند در ماده اکسید ترکیب شوند.
انحلال شیمیایی اکسید در الکترولیت، نازکی لایهی سدی را نتیجه میدهد و برای رشد حالت پایدار اکسید متخلخل، میدان افزایش یافته موضعی در سطح اکسید/الکترولیت، بر انحلال در ته حفرهها اثر میگذارد .
افزایش انحلال میدانی اکسید، نرخ رشد اکسید در سطح اکسید/فلز را بعلت یک تعادل دینامیکی بین نرخ انحلال میدانی اکسید و نرخ تولید اکسید افزایش میدهد. انحلال میدانی اکسید، از قطبش پیوندهای AL-O که بدنبال خارج شدن یونهای Al3+ از ساختار اکسید رخ میدهد، شروع می شود . خروج یونهای Al3+ در حضور میدان خیلی راحت رخ میدهد.
شکل (۴-۶) نمایی از حرکت یونها و انحلال اکسید در محلول سولفوریک اسید.
۴-۸- قطر حفره
بطور کلی برای ساختار آلومینای متخلخل، قطر حفره با پتانسیل آندایز رابطه خطی زیر را دارد:
(۴-۸)
که در این رابطه λP ضریب تناسب بوده و تقریبا برابر nm/v29/1 بوده و DP قطر حفره برحسب نانومتر و U پتانسیل آندایز برحسب ولت میباشد . وابستگی قطر به ولتاژ، به الکترولیت وابسته نیست. بطور کلی قطر حفره بطور جدی تحت تاثیر سرعت انحلال آلومینا است، که با غلظت PH محلول تعیین می شود .
در اکثر گزارشات روند آندایز، لایهی بیرونی اکسید اشاره به سطح و لایهی درونی اشاره به انتهای حفرهها دارد. قطر حفرهی لایهی اکسید درونی با گذشت زمان در حالت پایدار تغییر قابل توجهی نمیکند و قطر زیادتر حفرهها در نواحی سطحی فیلم نتیجه رشد اولیه و بیقاعدهی حفرهها در مراحل اولیه رشد حفره است. یک انحلال شیمیایی اکسید و در نتیجه گشاد شدن حفره نیز ممکن است در طول آندایز و در دماهای بالا یا اسیدهای قوی رخ دهد .
برای یافتن قطر حفرهها با پارامترهایی دیگر، فرمول زیر نیز پیشنهاد شده است :
(۴-۹)
که DC قطر سلول که برابر فاصلهی بین حفرهای نیز هست، W ضخامت دیواره، B ضخامت لایهی سدی بر حسب نانومتر و WU ضخامت دیواره بر ولتاژ (nm/v) میباشد.
وابستگی تجربی قطر حفره به پتانسیل آندایز نیز بصورت رابطه قطر حفره با ولتاژ بحرانی آندایز (Umax ) توسط پالیببرودا[۴۸] گزارش شده است:
(۴-۱۰)
که Umaxماکزیمم پتانسیل آندایز، بدون تغییر شکل در آلومینیوم و رهاسازی گاز زیاد بوده و بطور تجربی بدست می آید.
در توصیف قانون %۱۰تخلخل نیلسون[۴۹] پیشنهاد شده است که قطر حفرههای تشکیل شده در آلومینای متخلخل تحت شرایط بهینه خودنظمدهی، که منجر به آرایش ششگوشی شبه کامل حفرهها می شود را میتوان بصورت زیر توصیف کرد:
(۴-۱۱)
که P تخلخل (۱/۰=%۱۰=P) و K ثابت تناسب (۵/۲= K) است.
قطر حفره با زمان آندایز افزایش مییابد، که دلیل آن نه تنها انحلال شیمیایی اکسید بوده، بلکه همچنین تشکیل و پیوستگی دیواره های حفرهای پایدار میباشد .
۴-۹- فاصلهی بین حفرهای
آخرین نظرات